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  机台封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mm)Or China SUS板材(厚度≥2mm)

  设备用途:本设备为浸泡式清洗机,用于IM电竞app扩散、外延等设备的石英管、碳化硅管的清洗

  排风强劲合理设计,为了排风效果达到最佳,排风通道内设有风量导流板,为了方便操作人员及时根据情况调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式排风口再配合机台视窗上的可调节进气模块,从而达到最佳使用效果

  机台封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mm)Or China SUS板材(厚度≥2mm)

  机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mm)Or China钢化玻璃(厚度≥2mm)

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  管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品

  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全

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  机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mm)Or China钢化玻璃(厚度≥2mm)

  更全面的全自动烘干系统消防系统可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

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  机台封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mm)Or China SUS板材(厚度≥2mm)

  设备用途:本系统主要用于湿法刻蚀清洗等工序需要使用的刻蚀液集中进行配送,经管道配送至设备;具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,而且具有良好的耐腐蚀性。

  透明抗静电透明pvc厚度5mmorchina钢化玻璃厚度2mm选配模块腐蚀液恒温系统腐蚀液循环过滤系统超兆声系统全自动供液系统更全面的全自动烘干系统消防系统可结合客户端通讯协定资料存储cim系统资料分析存储建立管理机台特点自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性集成自动干燥系统管路系统电气控制系统伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品保修便利非期货库存品工厂内均建立安全库存品全程自动化控制几何曲线加减速运动冲击小运行平稳机械臂定位精度高多级别用户工艺数据库可供用户使用和存储作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合保证操作人员作业环境及人身安全客制化设计能力佳搞设计能力满足客户制程工艺需要机械臂装置robot的工艺路径种类机械手传送定位精度03mm机械臂走向制程控制plc控制方式操作界面全图形化中文彩色人机界面104彩屏槽体数量根据制程要求选择定制设备制造苏州尚纯半导体设备有限公司自动供酸系统cds设备用途

  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全

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  制程应用:有机溶液剥离工艺、去光阻清洗工艺、去胶清洗工艺、ACE清洗工艺、ICP清洗工艺、去蜡清洗工艺灯

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